Braiteoir brú innill 2CP3-68 1946725 le haghaidh tochaltóir Carter

Modh chun braiteoir brú a ullmhú, arb é is sainairíonna ann ná na céimeanna seo a leanas a chuimsiú:

S1, ag soláthar sliseog le dromchla cúil agus dromchla tosaigh; Ag cruthú stiall piezoresistive agus limistéar teagmhála dópáilte go mór ar dhromchla tosaigh an tsliocht; Ag cruthú cuas domhain brú trí dhromchla cúil an sliseog a eitseáil;

S2, Bileog tacaíochta a nascadh ar chúl an sliseog;

S3, poill luaidhe agus sreanga miotail a mhonarú ar thaobh tosaigh an tsliocht, agus ag nascadh stiallacha piezoresistive chun droichead cruithneachta a dhéanamh;

S4, ag taisceadh agus ag cruthú ciseal éighníomhach ar dhromchla tosaigh an sliseog, agus ag oscailt cuid den chiseal éighníomhach chun limistéar ceap miotail a dhéanamh. 2. Modh déantúsaíochta an bhraiteora brú de réir éilimh 1, ina bhfuil S1 go sonrach na céimeanna seo a leanas: S11: sliseog a sholáthar le dromchla cúil agus dromchla tosaigh, agus tiús scannán íogair brú ar an sliseog a shainiú; S12: Úsáidtear ionchlannú ian ar dhromchla tosaigh an sliseog, déantar stiallacha piezoresistive trí phróiseas idirleata ardteochta, agus déantar na réigiúin teagmhála a dhópáil go mór; S13: Ciseal cosanta a thaisceadh agus a fhoirmiú ar dhromchla tosaigh an sliseog; S14: Eitseáil agus cruthú cuas domhain brú ar chúl an tsleasa chun scannán íogair a chruthú. 3. Modh déantúsaíochta an bhraiteora brú de réir éilimh 1, ina bhfuil an sliseog SOI.

I 1962, tá Tufte et al. monaraíodh braiteoir brú piezoresistive le stiallacha piezoresistive sileacain idirleata agus struchtúr scannán sileacain den chéad uair, agus chuir sé tús leis an taighde ar bhraiteoir brú piezoresistive. I ndeireadh na 1960idí agus sna 1970í luatha, thug cuma trí theicneolaíocht, eadhon, teicneolaíocht eitseála anisotrópach Silicon, teicneolaíocht ionchlannaithe ian agus teicneolaíocht nasctha anodic, athruithe móra ar an mbraiteoir brú, a raibh ról tábhachtach aige maidir le feidhmíocht an bhraiteora brú a fheabhsú. Ó na 1980idí, le forbairt bhreise ar theicneolaíocht micreascópála, amhail eitseáil anisotrópach, liteagrafaíocht, dópáil idirleata, ionchlannú ian, nascadh agus sciath, laghdaíodh méid an bhraiteora brú go leanúnach, feabhsaíodh an íogaireacht, agus tá an t -aschur ard agus tá an fheidhmíocht iontach. Ag an am céanna, déanann forbairt agus cur i bhfeidhm na teicneolaíochta nua micreamachining an tiús scannáin de bhraiteoir brú a rialú go cruinn.