Infheidhme maidir le braiteoir brú iarnróid coitianta Passat 06E906051K

1. Modh chun braiteoir brú a fhoirmiú, a chuimsíonn:

Foshraith leathsheoltóra a sholáthar, ina ndéantar an chéad chiseal tréleictreach interlayer, an chéad ciseal tréleictreach interlayer agus an dara ciseal tréleictreach interlayer a fhoirmiú ar an tsubstráit leathsheoltóra.

Pláta leictreoid níos ísle sa chéad chiseal tréleictreach interlayer, an chéad leictreoid frithpháirteach atá suite ar an gciseal céanna leis an pláta leictreoid níos ísle agus spásáilte óna chéile.

sraitheanna a nascadh;

Ciseal íobartach a fhoirmiú os cionn an phláta polar níos ísle;

Pláta leictreoid uachtair a fhoirmiú ar an gcéad chiseal tréleictreach interlayer, an chéad chiseal idirnasctha agus an ciseal íobartach;

Tar éis an ciseal íobartach a fhoirmiú agus roimh an pláta uachtarach a fhoirmiú, sa chéad chiseal idirnasctha

Groove nasc a fhoirmiú, agus an groove nasc a líonadh leis an pláta uachtarach chun nascadh go leictreach leis an gcéad chiseal idirnasctha; Nó,

Tar éis an pláta leictreoid uachtarach a fhoirmiú, cruthaítear grooves ceangail sa phláta leictreoid uachtarach agus sa chéad chiseal idirnasctha, a

Ciseal seoltaí a fhoirmiú ag nascadh an pláta leictreoid uachtair agus an chéad chiseal idirnasctha sa groove nasc;

Tar éis an pláta uachtarach agus an chéad chiseal idirnasctha a nascadh go leictreach, bain an ciseal íobartach chun cuas a fhoirmiú.

2. An modh chun braiteoir brú a fhoirmiú de réir éileamh 1, inar sa chéad chiseal

Cuimsíonn an modh chun an ciseal íobartach a fhoirmiú ar an gciseal tréleictreach interlayer na céimeanna seo a leanas:

Ciseal ábhar íobartach a thaisceadh ar an gcéad chiseal tréleictreach idirchiseal;

An ciseal ábhar íobartach a phatrú chun ciseal íobartach a fhoirmiú.

3. An modh chun an braiteoir brú a fhoirmiú de réir éileamh 2, ina n-úsáidtear photolithography agus greanadh.

Tá an ciseal ábhar íobartach patrúnaithe ag próiseas eitseála.

4. An modh chun braiteoir brú a fhoirmiú de réir éileamh 3, ina bhfuil an ciseal íobartach

Is é an t-ábhar carbóin éagruthach nó gearmáiniam.

5. An modh chun braiteoir brú a fhoirmiú de réir éileamh 4, ina bhfuil an ciseal íobartach

Is é an t-ábhar carbóin éagruthach;

I measc na ngás eitseála a úsáidtear i bpróiseas eitseála an chiseal ábhair íobartach tá O2, CO, N2 agus Ar;

Is iad seo a leanas na paraiméadair atá sa phróiseas eitseála ar an gciseal ábhar íobartach: is é raon sreabhadh O2 ná 18 SCCM ~ 22 SCCM, agus is é an ráta sreafa CO 10%.

Tá an ráta sreafa idir 90 SCCM agus 110 SCCM, sa raon sreafa N2 ó 90 SCCM go 110 SCCM, agus an ráta sreafa Ar.

Is é an raon 90 SCCM ~ 110 SCCM, is é an raon brú 90 mtor ~ 110 mtor, agus tá an chumhacht claonta

540w - 660w.